统一平台管理
借助统一的平台对硼扩工艺的各类参数、设备信息、工艺数据等进行统一管理, 数据、信息保持统一性,方便后续的管理与应用
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预警分析能力
¡硼扩的影响因子较多,泵速、内外耦温度、功率、气体流量偏差、压力等问题导致整管硅片方阻异常,需要能够提供缺陷分析、预警预测能力,及时发现异常尽快应对处理
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配方参数自动优化
硼扩工艺中,不同配方参数的组合会产生不同的方阻结果值,利用机器学习能够将众多的影响因子进行分类、权重设置,实现工艺参数智能、自动优化
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数据比对分析
能够对不同炉管、同一炉管各批次数据进行比对分析,发现异常影响因素,从而从中寻找最佳配方
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